Технология тонких пленок: учебное пособие для вузов
Антоненко С.В.
Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности «Физика конденсированного вещества» на кафедре «Физика твердого тела и наносистем». Пособие также может быть рекомендовано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения квалификации и переподготовки специалистов промышленности в области получения и исследования тонких пленок и наносистем.;Гриф:Рекомендовано УМО «Ядерные физика и технологии» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений
Godina:
2008
Izdavač:
Национальный исследовательский ядерный университет «Московский инженерно-физический институт»
Jezik:
russian
Strane:
104
ISBN 10:
5726210360
ISBN 13:
9785726210360
Fajl:
PDF, 1.60 MB
IPFS:
,
russian, 2008